成膜加工　株式会社ビースパッタ

、イオンプレーティング●成膜メーカー、薄膜作製ならお問合せ下さい

スパッタリング加工例

応　用	スパッタ物質	基　　板	用　　途
電子部品	Au・Pd・Ag・Cu・ Cr・Al・Ta・ Ni-Cr・TiN・TiC・ITO・SiO2	ガラス・セラミックプラスチックプラスチックフィルムフィルム	抵抗体絶縁膜・誘電体タッチパネル
光　　学	Al・Cr・ITO・ SiO2・TiO2	ガラスプラスチックプラスチックフィルム	反射鏡・熱線反射膜反射防止ハーフミラーメガネレンズ照明機具
表面硬度	TiN・TiC・Cr	超硬合金・ステンレス	精密部品機械部品超硬工具
装　　飾	TiN・TiC・Al・ Cr・TiO2・SUS・ Ni-Cr	プラスチックガラス陶磁器ステンレス	時計部品・照明機具自動車部品弱電部品容器・建築材・タイル携帯電話

スパッタリング実施例

　シールド関連

　電　　極

　表面改質

　マスキング

　装　　飾　＊塗装との併用を用いる場合あり

　メタルその物の特性を付与

現在お困りな点、素材の改質等、スパッタリング加工でお役に立てる事が
ございましたらおっしゃって下さい。宜しくお願い致します。